儀科中心攜手天虹科技創高階半導體設備自製新局 | 可愛寵物網
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(中央社記者張建中新竹2020年9月8日電)國家實驗研究院儀器科技研究中心與天虹科技合作,成功開發12吋叢集式原子層沉積先進設備,開創國內高階半導體設備自製的新局面。
因應電子產品微縮化需求,半導體朝向奈米超薄膜製程發展,儀科中心表示,原子層沉積技術(ALD)具有極佳的薄膜沉積均勻性與厚度控制,成為半導體產業一項主流技術。
儀科中心自2004年起深耕開發ALD技術,是國內具備客製化ALD設備及製程能力的研究單位,至2020年已客製開發20多台各式ALD設備,應用於太陽能和光學薄膜等領域,只是半導體製程技術仍受制於國外設備商。
儀科中心2018年起與國內半導體設備廠天虹科技合作,整合雙方技術共同開發12吋量產型叢集式ALD 設備,於2019年完成設備開發及12吋氧化鋁薄膜製程驗證,應用於Mini-LED及 Micro-LED上作為鈍化保護層。
天虹科技的12吋叢集式ALD設備已獲得發光二極體(LED)廠訂單,並與國內半導體廠及材料商共同開發先進製程,如前段的高介電係數絕緣層、微機電等高階應用,開創國內高階半導體設備自製的新局面,期能增進半導體產業國際競爭力。
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